ＡＤＥＫＡ、先端フォトレジスト向け光酸発生剤の生産能力を増強

～旺盛なEUV需要に即応、PAGモノマーの量産対応を加速～

　株式会社ＡＤＥＫＡ（代表取締役社長兼社長執行役員:城詰秀尊、本社:東京都荒川区、以下ＡＤＥＫＡ）は、ＥＵＶ（極端紫外線）をはじめとする半導体の先端リソグラフィ工程で使用される半導体レジスト用光酸発生剤の生産設備を増強することを決定しましたのでお知らせいたします。千葉工場（千葉県袖ケ浦市）の既存建屋内に製造ラインを増設し、2028年９月に営業運転を開始する予定です。

　半導体は現代の戦略物資として、世界的に投資が活発化しており、市場は2026年に1.5兆ドル規模へ前倒しで拡大するなど、急速な成長を続けています。これに伴い、半導体の微細化に不可欠なフォトレジスト市場も拡大しているほか、露光技術の進化やPFASフリーなどの環境対応により、材料に求められる性能や品質レベルも一段と高度化しています。

　ＡＤＥＫＡは、半導体材料事業において、ArFやEUVなどの超微細加工が求められる先端リソグラフィ領域を重点分野と位置づけ、化学増幅型レジスト（CAR）用光酸発生剤や金属酸化物レジスト（MOR）用金属化合物の開発、供給体制の強化を進めています。今回の追加投資は、旺盛な需要が続くEUVリソグラフィ向け光酸発生剤の供給能力を高めるとともに、１ppbレベルの厳格なメタル管理を維持しながら、生産体制の最適化を図るものです。同時に、2026年7月に本格始動した半導体イノベーションセンター（埼玉県久喜市）では、EUVや高NA EUVなどの先端世代で需要拡大が見込まれるPAGモノマー（ポリマーバウンド型）の開発・評価を加速しており、本投資により、将来需要を見据えた供給体制の強化を2年前倒しで実行します。

　ＡＤＥＫＡは今後も、先端フォトレジスト向け光酸発生剤とMOR用金属化合物を両輪に、先端リソグラフィ技術の進化を素財でリードし、半導体材料事業のさらなる拡大を図ってまいります。

補足１：化学増幅型レジスト用光酸発生剤について

化学増幅型レジスト（CAR）に用いられる光酸発生剤（PAG）は、露光により発生した酸が化学反応を促し、半導体ウエハ上に微細な回路パターンを描くことができます。半導体の高性能化や微細化の進展に伴い、ArFやEUV露光への高い感度と、高精度・高解像度を実現する性能が求められています。こうしたニーズに応えるべく、ＡＤＥＫＡは、従来型の光酸発生剤（ポリマーブレンド型）に加え、PAGモノマーの開発、拡販を進めています。PAGモノマーにより、光酸発生剤を高分子主鎖に固定化することで酸の拡散をコントロールし、より微細で高精度な回路形成を実現します。

補足２：金属酸化物レジスト（MOR）用金属化合物について

MOR用金属化合物は、半導体の高集積化や高積層化に伴い、高NA EUV露光の導入が進むなか需要拡大が見込まれる材料です。フォトレジストのEUV吸収率やエッチング耐性を向上させるキーマテリアルとして期待されています。ＡＤＥＫＡは、ALD材料で培った金属錯体技術を応用し、次世代MOR用金属化合物の開発と供給体制の強化を進めています。2028年4月には、鹿島化学品工場（茨城県神栖市）において専用プラントの営業運転を開始する予定です。

補足３：ＡＤＥＫＡ 半導体材料事業について

1980 年代に、当時の日本国内の半導体メーカーへ当社の祖業である電解事業から得られた塩素を高純度化しエッチングガスとして提供したことが、当社の半導体材料ビジネスの始まりです。以降、先端半導体メモリ向け高誘電材料（High-k材料）は長年世界シェアNo.1を堅持しているほか、先端リソグラフィ材料（光酸発生剤）など、主に半導体製造における前工程に競争優位な製品を有しています。

2026年7月には、総工費約120億円をかけた新基幹研究所「半導体イノベーションセンター」（埼玉県久喜市）が本格稼働しました。これにより、強みである前工程材料のさらなる拡大と、後工程向け新規材料への領域拡大を目指し、日本と、韓国・台湾・米国といったＡＤＥＫＡグループの拠点が連携し、より一層お客様のニーズに迅速にお応えしていきます。

補足４：ＡＤＥＫＡグループについて

ＡＤＥＫＡグループは化学品・食品・ライフサイエンスをコアビジネスに、幅広い市場で価値ある素財を提供するグローバル企業です。『Add Goodness』（すべてのものは、今より良くできる）をコーポレートスローガンに、1917年の創立以来、人々のくらしを支える製品の提供を通じて、持続可能な社会の実現を目指しています。例えば、高度ＩＣＴ社会をリードする半導体材料、クルマの軽量化で環境負荷低減に資する樹脂添加剤、おいしさ持続で食品ロス削減に貢献する業務用マーガリンなど、見えないところで豊かなくらしに貢献しています。